石英儀器知識(shí)之石英坩堝的苛刻要求

　　石英儀器大家都見(jiàn)過(guò)，其中石英坩堝是最有名的。石英坩堝先開(kāi)啟循環(huán)水，看各冷卻水管冷卻水是否正常，每臺(tái)主機(jī)設(shè)備的循環(huán)水壓力在0.2MPa左右，水壓不能過(guò)低或過(guò)高，水壓過(guò)低循環(huán)水的水量不夠，實(shí)驗(yàn)室凈化設(shè)備冷卻不好，溫度過(guò)高可能燒損設(shè)備；石英深加工

　　1.使用90微米鋼線切割硅片開(kāi)創(chuàng)了線切領(lǐng)域的先河，每年可多創(chuàng)造利潤(rùn)近千萬(wàn)元；在業(yè)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)了100微米鋼線切割多晶片技術(shù)；自產(chǎn)涂層石英坩堝使拉晶成品率提高了。

　　2.石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿，每生產(chǎn)一爐單晶硅就用掉一只石英坩堝，因?yàn)閱尉Ч枋巧a(chǎn)大規(guī)模集成電路和太陽(yáng)能電池的主要原料，所以對(duì)石英坩堝的要求十分苛刻，按照使用范圍不同，石英坩堝可分為：太陽(yáng)能級(jí)硅單晶坩堝和集成電路級(jí)硅單坩堝。

　　3.水壓過(guò)高使主機(jī)設(shè)備的冷卻部位的水壓太大，會(huì)使冷卻部位爆開(kāi)漏水；循環(huán)開(kāi)啟十五分鐘后，方可進(jìn)行下一操作；（門(mén)板冷卻水不要大，有水流既可，方水板，電極板，銅電極，立板冷卻水開(kāi)一半既可，水冷套，真空泵和遮熱板水量要大）。

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